麻花豆剧国产mv在视频,,,

全國服務(wù)咨詢熱線:

18511111800

NEWS新聞動態(tài)
首頁 > 新聞中心 > Spin Coater的優(yōu)點和缺點有哪些?

Spin Coater的優(yōu)點和缺點有哪些?

更新時間:2021-04-20       點擊次數(shù):1392
   Spin Coater的基本原理便是在在旋涂過程中,以每分鐘1000轉(zhuǎn)(rpm)的速度旋轉(zhuǎn)的基板的離心力會在基板上分配幾毫升的抗蝕劑。其優(yōu)點是:高抗蝕劑膜厚度均勻性以及較短的涂覆時間,使得旋涂至少在微電子學(xué)中成為廣泛應(yīng)用的涂覆技術(shù)。旋涂后,已涂覆的抗蝕劑已經(jīng)損失了大量溶劑,因此無需在進一步的處理步驟(處理,軟烘烤)之前保持費時的延遲。
  局限和缺點:在非旋轉(zhuǎn)對稱基板的情況下,由于強烈的空氣湍流,抗蝕劑在基板邊緣附近形成了明顯的邊緣珠。
  Spin Coater對抗蝕劑膜厚度的影響當(dāng)抗蝕劑剝離完成時,以一定旋轉(zhuǎn)速度給出的抗蝕劑膜厚度保持足夠長的旋轉(zhuǎn)時間。達到膜厚所需的旋轉(zhuǎn)時間隨抗蝕劑粘度的增加而增加。低旋轉(zhuǎn)速度也會導(dǎo)致增加時間,以獲得恒定的抗蝕劑膜厚度??刮g劑膜中剩余的溶劑濃度也影響其厚度。在涂布過程中,溶劑濃度下降并達到約15-25%的飽和度,這取決于膜厚,對于較厚的膜則更高。
  在有紋理的基材上,所獲得的紋理邊緣覆蓋范圍很小,并且拓撲結(jié)構(gòu)的某些部分可能根本不會被覆蓋。僅有百分之幾的抗蝕劑產(chǎn)率相當(dāng)?shù)汀?/div>
  Spin Coater中的高環(huán)境溶劑飽和度會降低所獲得的抗蝕劑膜的厚度,由于抑制了溶劑從抗蝕劑中的蒸發(fā),導(dǎo)致膜的平整度降低。因此,與隨后在旋涂機中涂覆有一定數(shù)量的新鮮抗蝕劑的晶片相比,一系列涂覆的前幾個晶片可能會顯示出稍高的膜厚。在這種情況下,需要借助于恒定的抗蝕劑膜厚度,在涂層系列開始時對一些虛擬晶片進行蝕刻將是有益的。該設(shè)備還會影響所獲得的抗蝕劑膜厚度:與標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)相比,旋轉(zhuǎn)陀螺儀可將膜厚度減小兩倍。
華儀行(北京)科技有限公司
地址:北京市豐臺區(qū)科興路7號國際企業(yè)孵化中心301室
郵箱:cif_lab@163.com
傳真:86-010-63752028
關(guān)注我們
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息:
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號
了解更多信息
bl肉yin荡np公厕肉便| 饥渴偷公乱第400章| 被捣出白浆潮喷失禁抽出好爽| 鸡毛飞上天电视剧全集观看免费| 久久天天躁狠狠躁夜夜躁2014| 国产精品99久久久久久人| 第一次处破女18分钟好痛| 888影视网| 人妻丰满精品一区二区a片| 日产一二三区别免费必看| 国精产品一区二区三区有限公司| 国产精品久久午夜夜伦鲁鲁| 亚洲av天堂一区二区香蕉| 日本一区二三区好的精华液| 人妻丰满精品一区二区A片| 日本人真人姓交大视频| 亚洲av在线观看| 亚洲精品国产精品国自产| 精品人妻久久久久久888| 娇小小小泬xxxx护士| 大胆人体艺术| 久久天天躁狠狠躁夜夜躁2014| 师生h老师边h边做| 免费国产又色又爽又黄的网站| 女女女女bbbbbb毛片在线| 免费观看性生交大片| 辽宁少妇高潮45分钟| 久久久久久av无码免费网站下载 | 国产精品久久久久久精品毛片| 熟女chachacha性少妇| 欧美又粗又大xxxxbbbb疯狂| 凸凹人妻人人澡人人添| 王妃暗卫肉h共妻大肉| 熟女肥臀白浆大屁股一区二区| 国产裸体舞一区二区三区| 青梅被从小摸到大h补课1视频| 日韩a片| 国产A级毛片| 久久变态刺激另类sm| 巨大乳尖奶怀孕| 特级毛片www免费版|