無論是大氣（常壓）等離子清洗機(jī)，還是真空（低壓）等離子清洗機(jī)，在對材料進(jìn)行表面改性的時(shí)候都會通入工藝氣體，如無水無油的干凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮?dú)?、氧氣、氬氣等，這些氣體和等離子體有什么區(qū)別呢？
等離子清洗機(jī)中通入的普通工藝氣體要想轉(zhuǎn)化為等離子體，每個(gè)粒子大約需要：：（1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有較高的活性和能量密度。
但要注意的是，電離的氣體不一定是就是等離子體，雖然等離子體和普通氣體存在一些共同特點(diǎn)，如它們均滿足氣體狀態(tài)方程，但它們卻有截然不同的性質(zhì)，主要的3個(gè)方面的區(qū)別，現(xiàn)對比如下：
等離子體
電性：由大量的電子和離子組成，因此粒子是帶電的，離子帶正電，電子帶負(fù)電。
相互作用：大量帶電粒子之間的相互作用，即長程庫侖力的作用，多個(gè)帶電粒子之間的集體相互作用要壓倒兩個(gè)粒子之間的碰撞，帶電粒子大角度的偏轉(zhuǎn)是多重小角度偏轉(zhuǎn)積累而成，所以帶電粒子的運(yùn)動軌跡不是簡單折線，而是不斷發(fā)生的小波折并逐漸形成大拐彎的曲線。
相互作用：粒子間的碰撞除彈性碰撞之外還有非彈性碰|撞,而且大量的是非彈性碰撞。
普通氣體
電性：粒子是呈電中性的，本身不帶電。
相互作用：粒子之間的相互作用主要是彼此之間的碰撞,是短程牛頓力的作用,其有效作用半徑遠(yuǎn)小于粒子平均自由程,絕大多數(shù)時(shí)間內(nèi),粒子都是勻速直線運(yùn)動，當(dāng)它碰到另一個(gè)粒子時(shí),速度大小和方向可認(rèn)為瞬時(shí)地發(fā)生突變,因此粒子運(yùn)動軌跡是直線段連成的折線。
相互作用：粒子間的碰撞一般是彈性碰撞。
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